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AE射频电源 Cesar RF power 5kw Cesar1310 Cesar0450

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产品名称: AE射频电源 Cesar RF power 5kw Cesar1310 Cesar0450
产品型号:
产品展商: AE电源
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简单介绍

苏州曼特莱精密电子有限公司,7年来一直致力于研究工业电源 RF Cesar1310 Cesar0450,AE射频电源 ,真空泵维修等业务。为广大客户提供工业进口原装电源,这使开发设计突破性产品成为可能,同时推动了半导体和工业领域主要客户的增长。我们的精密电源、自动控制技术以及应用方面的专有技术,激励我们在薄膜工业和工业制造领域建立紧密的合作关系,并推动我们持续不断地钻研。 苏州曼特莱精密电子有限公司为您竭诚服务,欢迎致电垂询或在线咨询~


AE射频电源 Cesar RF power 5kw Cesar1310 Cesar0450  的详细介绍

强大而多功能的 Cesar? 射频电源平台可提供非常稳定的射频功率输送性能,以及一个多样化的模式选择,每种模式都具有一套独特的功能(2、4、13.56、27.12和40.68 MHz;0.3至5 kW;拥有多种用户界面和输入选择),从而使您能够选择一套特别适合您应用的组件——而无需定制发生器所需的漫长交付期。 

高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现***优化,从而使您的投资和制程生产力得到化的利用。一个全面而高度灵敏的操作菜单(可在该组件的多功能前面板上找到,并显示在一个大的液晶显示屏上)带来了无与伦比的便利性——提高了操作人员的效率,并使培训成本较小化。 

典型应用: 
高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD) 
等离子体增强化学气相沉积(PECVD) 
刻蚀-RIE/ICP 
物理*相沉积 
等离子清洗 
优点 
更长的制程正常运行时间 
更高的操作简易性和灵活性 
无需定制组件提前期的定制化性能 
长期的使用简易性,节省成本 
功能 
 
精簡的流线型设计 
标准的平台包装 
高效率——低发热量 
200和400 VAC 的输入选择 
两个模拟用户端口选择 
RS-232、以太网及 Profibus 通讯 
多功能前面板 
便利的操作菜单 
CEX(相位同步)操作模式

  

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