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东北大学巴德纯教授研发多种干式真空泵 为中国制造保驾护航

东北大学巴德纯教授课题组与中科院沈阳科学仪器股份有限公司成功研制出干式真空泵的消息不胫而走,立即吸引来众多高端企业前来洽谈合作。短短几年间,产品已经在北方微电子、北京中科信、湖南红太阳、上海中芯国际等国内重点用户的集成电路生产线上成功应用,得到了企业的广泛好评。产品的应用为企业带来了可观的经济效益,近年来新增利润累计1.003亿元,新增税收0.153亿元,增收节支总额1.493亿元。
2015年以 清华大学 贾培发教授为主任,众多技术专家为组员的验收委员会一致认为,项目“完成转子型线分析、优化设计和泵内流场理论分析,并搭建了干泵的设计平台(理论部分),指导干泵的设计”,达到了国际先进水平。
零事故高效研发,为中国制造保驾护航
2013年底,东北大学与中科院沈阳科学仪器股份有限公司组成工艺测试团队,与中科院微电子企业进行刻蚀机真空装备项目合作。真空泵开始工作不久,现场团队成员发现真空泵工作不良,效率低下。巴德纯教授根据故障现象,判断是刻蚀出来的气体挥发物在泵内压缩时很快凝结成颗粒,附着在真空泵转子上,阻碍机器正常运转。根据这一判断,工作人员对冷却方式进行了智能调节,避免过低的冷却温度,在气体凝固前将其抽出,保证了真空干泵的高效运行和刻蚀机的正常运转。
真空泵的试验需要在企业加工生产线上不停机进行,一旦出现意外将造成重大的生产事故。东北大学巴德纯教授研究真空泵30余年,在各种生产线上进行了上千次的实验测试,凭借课题组对不同生产环境的有效预判,对相应的温度场和流场的准确测量,从没有出现一次生产意外,以零事故研发为东北大学赢得了良好的声誉。
经过东北大学的理论设计、中科院沈阳科学仪器股份有限公司的产业化开发的JGH系列的真空泵投入市场后,受到企业的青睐,对国外相关设备形成冲击。国外企业立即大幅度调低了某种型号真空泵的售价,单台价格从30余万元直接降低到15万元。2014年起,干式真空泵又在东北制药、同联药业等知名制药企业成功开始应用。与制药企业采用传统水环泵相比,采用干式真空泵只需要很少的能耗,对环境无污染,而且可以对低沸溶媒实现98%以上的有效泵后回收,实现环境友好的生产工艺,达到了节能减排的效果,取得了巨大的经济效益和社会效益。

目前,巴德纯教授团队与中科院沈阳科学仪器股份有限公司合作,已经先后开发了多个具有自主知识产权的干式真空泵(机组),形成了JGM系列、JGH系列等2大系列10余种型号,满足了清洁真空环境、中度真空环境和恶劣真空环境等全天候真空抽气要求。目前,生产的多级真空干泵已经广泛应用于半导体、化工、医药、精密芯片等对清洁真空条件要求十分苛刻的制造业。

巴德纯自信地表示:“中国制造2025将智能制造作为主攻方向,真空泵产品正是这一方向高端制造业发展的重要关键零部件。东北大学将逐步形成关键制造装备供货能力,为中国的高端制造业保驾护航。”


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