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EBARA ESR100WN真空泵维修

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产品名称: EBARA ESR100WN真空泵维修
产品型号: EBARA ESR100WN
产品展商: EBARA真空泵维修
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简单介绍

苏州曼特莱精密电子有限公司提供EBARA ESR100WN真空泵维修以及各类进口真空泵维修。配件确保原装进口,物美价廉。


EBARA ESR100WN真空泵维修  的详细介绍
ESR系列是新研发的应用广泛的罗杆式干式真空泵,对于L/LSEM等较轻负荷的制程和腐蚀性制程都可以使用。 性能上具有排气速度可调节,高通信处理功能,从而适应了省功耗,占地面积小,重量轻的工艺要求。
 
特点:
 最适合用于轻负荷的制程及腐性气体制程      
 低的运行成本,省功耗,较大可60%(与本公司AA系列相比
 无需N2来做密封(ESR20N
 小型化,重量,较大减少40% (与本公司AA系列相比
 增加速控制
 高性能的通信机能
 采用高度控制的运
 
 
ESR Series
Specifications Unit ESR20N ESR80WN ESR200WN ESR300WN
Pumping Speed 
50/60 Hz
抽气速度
CFM
46 - 71
141 - 300
353 - 706
1059
L/min
1300 - 2000
4,000 - 8,500
10,000 - 20,000
30,000
M3/Hr
78 - 120
240 - 510
600 - 1,200
1,800
Ultimate Pressure 
50/60 Hz
mTorr 5 1.5 1 1.5
Pa 0.67 0.2 0.13 0.2
mBar 0.0067 0.002 0.0013 0.002
Connection
接口
Gas Inlet
NW 40
NW 50
ISO100
NW 100
Gas Outlet
NW 40
NW 40
NW 40
NW 40
Power at Ultimate Pressure
到达底压时的功率 
KW
0.55 - 0.70
0.8 - 1.9
0.8 - 1.1
2.9
Maximum Power
较大功率
KW 2.5 4.5 5 7.5
Cooling Water Requirements
冷却水要求
Min. Flow Rate 2 2 2 3.5
L/min
Bearing and Dilution N2
隔离和稀N2
Bearing Seals
0 to 12
2 to 12
2 to 12
2 to 12
L/min
Cabinet Dimensions inches
25 x 11 x 12.6
26 x 15 x 25.8
31.1 x 15 x 25.8
33 x 19 x 35
LxWxH
外型尺寸 
mm
635 x 280 x 320
660 x 380 x 655
790 x 380 x 644
(825 x 460 x 880)
Weight
重量
lbs 200 400 520 860
kg 90 180 250 390

产品名称:EBARA ESR100WN真空泵维修

苏州曼特莱精密电子有限公司主营:
一、进口真空泵维修
1、BOC EDWARDS(爱德华):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
5、EBARA(荏原):ESA系列、ESR系列、EST系列、A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列,EBARA ESR100WN真空泵维修等
6、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
7、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
8、BECKER(贝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
9、RIETSCHLE(里其乐):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
10、ULVAC(爱发科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
11、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。

二、进口真空泵配件销售:
1、类型:真空泵专用维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(荏原)、KASHIYAMAORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、进口真空油销售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS专用真空油、ADIXEN专用真空油等。
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