EBARA ESA25-D真空泵维修:
ESA系列是新研发的独特干式真空泵,具有优越的高速排气性能,从而适应了LCD溅射制膜装置,真空干燥制程,大型
L/L等工艺要求。并拥有高附加价值,对应气体负荷自动控制转速,高通信功能等。 ● *适用于大型真空反应室的高速排气 ● 具有高性能通信机能 ● 转速自动调节功能 ● 采用高度控制泵运转方式 ● 采用大口径转子,设计上上乘小型 ● 不产生真空泵大型化所引起的搬运性能降低 ● 也可用于有机溶剂排气上用的特别规格
苏公网安备 32058302001661号