ESA系列是新研发的独特干式真空泵,具有优越的高速排气性能,从而适应了LCD溅射制膜装置,真空干燥制程,大型 L/L等工艺要求。并拥有高附加价值,对应气体负荷自动控制转速,高通信功能等。
苏公网安备 32058302001661号